檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "鐵電".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="鐵電薄膜"
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本研究利用CO2低溫雷射退火製程,將鋯鈦酸鉛(PZT)鐵電薄膜與錳酸鍶鑭(LSMO)氧化物電極鍍製於316型不鏽鋼線與薄板基板上,以改善傳統爐內退火常導致線狀或薄板型鐵電元件產生界面擴散與氧化等問題…
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本論文進行二氧化鋯鉿鐵電薄膜之特性研究,與應用於奈米帶無接面場效電晶體(Nanosheet Junctionless FETs, NS-JLFETs)元件之研究。本研究分為兩部分,第一部份以不同電漿…